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掃描電鏡方法
更新時(shí)間:2021-11-18   點(diǎn)擊次數(shù):991次
   掃描電鏡是用電子打在樣品上,用電子束成像。這主要是因?yàn)殡娮拥牟ㄩL小,光的波長在400到700納米量級,而電子的波長公式是 lambda=h/(mv),一般用的電壓是80kV 到 300kV,電子的波長就是在0.01納米左右,和原子的大小接近。更短波長的好處,是可以觀測到更小尺寸的東西,否則會因?yàn)椴ǖ难苌浜透缮鏌o法分辨。通??吹降纳飿悠罚透弑独ハx圖片,是用掃描電鏡拍到的,實(shí)際上這是電子顯微鏡中放大倍數(shù)低的,純科普的。這些其實(shí)還可以用光學(xué)顯微鏡看。我們說的「顏色」是可見光的顏色,對于電子來說,它不是光,因此沒有顏色一說。因此樣品成像無顏色
  掃描電子顯微鏡目前廣泛的用途是看電子元件,像CPU現(xiàn)在都是25納米制程,這些的檢查都是用高分辨率的掃描電鏡。還有一些生物樣品,比如骨頭斷面組織之類也會用到掃描電鏡。還有納米線的形貌像(外觀)。
  掃描電鏡方法:
  掃描電鏡方法是利用掃描電鏡對樣品的結(jié)構(gòu)和性能進(jìn)行分析的方法。掃描電鏡的基本部件有透鏡系統(tǒng)、電子槍、電子收集器、觀察和記錄影像的陰極射線管等。其基本原理是用極細(xì)的電子束在樣品表面上掃描,然后按電視原理放大成像,顯示在電視屏幕上。
  當(dāng)電子轟擊樣品表面時(shí)會產(chǎn)生各種信號,其中包括二次電子、背散射電子和不同能量的光子等。這些信號來自樣品的特定發(fā)射區(qū)域,它隨表面形貌的不同而變化。從而可以獲得樣品的成份、表面形貌、晶體結(jié)構(gòu)等信息。掃描電鏡的特點(diǎn)之一是,用它檢驗(yàn)大塊樣品時(shí)能獲得高的分辨率,商品儀器可達(dá)50埃,專用儀器可達(dá)25埃。特點(diǎn)之二是,利用掃描電鏡的大景深可獲得樣品的三維形態(tài)。這對生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等特別有價(jià)值。
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